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Die Oberfläche der Bauteile wird mit einem reaktiven Prozeßgas
angeätzt. Material wird gezielt abgetragen, in die Gasphase
umgesetzt und abgesaugt. Die Oberfläche wird vergrößert
und ist sehr gut benetzbar. Das Ätzen dient der Vorbehandlung vor dem Bedrucken, Verkleben und Lackieren sowie dem "Aufrauhen" des Materials.
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| Silizium mit Ätzmaske vor der Plasmabehandlung
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Plasmabehandlung |
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Nach der Plasmabehandlung |
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Anwendungen:
- z.B. Strukturierung von Silizium
- Ätzen von PTFE
- Für gute Lack- und Klebstoffhaftung bei hochtemperaturfesten
Kunststoffen wie z.B. PTFE, PFA und FEP
- Fotolackveraschung
Bauteile:
- Bauteileöffner (Halbleiter)
- Brackets (Zahntechnik)
- Herzschrittmacher
- Sensoren
Anwender:
- Automobiltechnik
- Dichtungstechnik
- Elektroindustrie
- Forschungsinstitute
- Halbleitertechnik
- Medizintechnik
- Mikromechanik-Hersteller
- Sensortechnik usw.
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